GB/T 1558-2023 硅中代位碳含量的红外吸收测试方法.pdf

GB/T 1558-2023 硅中代位碳含量的红外吸收测试方法.pdf
1 范围
本文件描述了硅中代位碳原子含量的红外吸收测试方法。
本文件适用于电阻率大于3Ω · cm 的 p 型硅单晶片及电阻率大于1Ω · cm 的 n 型硅单晶片中代位碳原子含量的测试(室温下测试范围： 5× 10¹ cm-³ 至硅中碳原子的最大固溶度； 温度低于80 K 时测试范围： 不小于5× 10 cm-³)。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引 用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日 期的引 用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件； 不注日期的引用文件， 其最新版本(包括所有的修改单) 适用于本文件。
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