GB/T 43104-2023 碳基薄膜 分类及命名.pdf

GB/T 43104-2023 碳基薄膜 分类及命名.pdf
1范围
本文件规定了碳基薄膜的分类.命名及简称。本文件所述的碳基薄膜是以碳为主要成分,并由物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)制备所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜[又称为类金刚石薄膜(DLC)],CVD金刚石薄膜.石墨薄膜和类聚合物碳基薄膜。
本文件适用于工业规模生产的碳基薄膜。本文件不适用于尚未实现工业规模生产的其余种类碳基薄膜。
本文件只涉及碳基薄膜材料,不涉及由主体功能层和上/下附加层组成的复合涂层。
薄膜中各层组分和/或性能随厚度变化的薄膜称为梯度薄膜。本文件沙及的碳基薄膜均指非梯度薄膜.
碳基薄膜可能包含如氢、金属或其他元素。其中金属成分还包含金属碳化物。本文件涵盖的掺杂碳基薄膜只包括以碳元素为主要成分的薄膜体系。对于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜,也不适用于本文件中的金属掺杂非晶碳基薄膜(a-C;Me,a-C:H:Me)体系。
本文件不适用于富勒烯.碳纳米管.石墨烯、石墨炔等碳材料。
2规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。