DL/T 2310-2021 电力系统高压功率器件用碳化硅外延片使用条件.pdf

DL/T 2310-2021 电力系统高压功率器件用碳化硅外延片使用条件.pdf
1 范围
本文件规定了电力系统高压功率器件用碳化硅外延材料的各项技术指标。
本文件适用于高电压功率器件应用的碳化硅外延材料， 适用于电力系统高压功率器件应用的， 直径为100mm 和150mm 的碳化硅外延材料。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日 期对应的版本适用于本文件； 不注日 期的引 用文件， 其最新版本(包括所有的修改单) 适用于本文件。
GB/T14264 半导体材料术语
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GB/T30866 碳化硅单晶片直径测试方法
GB/T 32278 碳化硅单晶片平整度测试方法
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IEC 63068-2: 2019 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷非破坏性检查判据 第 2 部分： 缺陷的光学检查方法 (Semiconductor devices -Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices-Part 2;Test method for defects using optical inspection)